长波III-V族红外探测器
基本信息
申请号 | CN202121450983.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215869410U | 公开(公告)日 | 2022-02-18 |
申请公布号 | CN215869410U | 申请公布日 | 2022-02-18 |
分类号 | H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/105(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 顾溢;孙夺 | 申请(专利权)人 | 无锡中科德芯感知科技有限公司 |
代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 杨东明;林嵩 |
地址 | 214028江苏省无锡市新吴区弘毅路10号金乾座901—910室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种长波III‑V族红外探测器,所述红外探测器结构包括衬底、缓冲层、吸收层和帽层;其中,所述吸收层的材料为非故意掺杂的BInAsSbBi,所述非故意掺杂的BInAsSbBi的组分结构满足:BxIn1‑xAs1‑y‑zSbyBiz,其中,x≥0.1,0.4≤y≤0.7,0.01≤z≤0.06。本实用新型通过满足适当组分要求的BInAsSbBi材料作为吸收层来制备长波III‑V族红外探测器,获得了较好的化学稳定性,在保证耐热性的同时具有较高的吸收系数,能够保持与衬底较小的晶格失配,从而提升了探测器性能。 |
