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一种石英坩埚高效清洗装置

基本信息

申请号 CN202010274763.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113510123A 公开（公告）日 2021-10-19
申请公布号 CN113510123A 申请公布日 2021-10-19
分类号 B08B9/28（2006.01）I;B08B9/24（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 刘福鸿;陈宝昌 申请（专利权）人 江苏华尔石英材料科技有限公司
代理机构 北京科家知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 艾秀丽
地址 225600江苏省扬州市高邮经济开发区长江路
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及石英坩埚清洗装置技术领域，且公开了一种石英坩埚高效清洗装置，包括清洗仓，所述清洗仓右侧的底部连通有排污管，所述清洗仓左侧的顶部固定连接有清洗剂存放仓，所述清洗仓的左侧固定安装有位于清洗剂存放仓底部的抽液泵，所述抽液泵的底部连通有与清洗仓左侧的底部连通的出液管。该石英坩埚高效清洗装置，通过将石英坩埚放置在挡环与三个橡胶球之间，然后启动顶部旋转电机，使转杆转动，使螺纹杆通过与第二螺纹通孔螺纹连接而向左侧移动，从而使三个连接杆分别拉动三个夹杆，使三个夹杆通过滑块与滑轨滑动连接而相互靠近，带动三个橡胶球相互靠近，直到三个橡胶球同时与石英坩埚接触，配合着挡环将石英坩埚夹持固定。