一种连续加料微下拉法装置及工艺
基本信息
申请号 | CN202010773356.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111793820B | 公开(公告)日 | 2021-08-20 |
申请公布号 | CN111793820B | 申请公布日 | 2021-08-20 |
分类号 | C30B15/08;C30B15/02;C30B15/14;C30B15/10;C30B15/20;C30B29/20 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 付善任;张红;夏倩倩 | 申请(专利权)人 | 上海岚玥新材料科技有限公司 |
代理机构 | 北京挺立专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 田黎绒 |
地址 | 201400 上海市奉贤区奉浦大道1599号M栋 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种新式连续加料微下拉法装置及工艺,包括第一供料机构、第二供料机构、盖板、观察视孔和坩埚,设置第一供料机构和第二供料机构用于实现对坩埚两侧的同时供料,避免单侧供料引起的热场左右温度不对称,从而加快了原料的熔化速度,同时进一步解决了一侧供料易造成原料堆积的问题,通过盖板上沿圆周方向等距离开设有八个进料开口,从而保证原料熔体均匀的从坩埚四周流入坩埚底部,设置观察视孔用于方便操作人员对内部情况进行侧保温层内部情况进行观察,通过设计连续加料装置,合理的坩埚结构,及环形分布多进料开口,并结合科学的供料工艺,使之与传统的微下拉法相互结合,打破原有技术瓶颈,具有极好的市场规模化应用前景。 |
