一种新式热解石墨气相沉积装置
基本信息
| 申请号 | CN202021839825.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212505058U | 公开（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申请公布号 | CN212505058U | 申请公布日 | 2021-02-09 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I; | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 付善任;张红;夏倩倩 | 申请（专利权）人 | 上海岚玥新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京挺立专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 田黎绒 |
| 地址 | 201400上海市奉贤区奉浦大道1599号M栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新式热解石墨气相沉积装置，包括支撑机构、进气机构、罩壳和石墨电阻发热体。该新式热解石墨气相沉积装置，将碳素件摆放在支撑机构的载物托盘上，然后控制第二气缸带动支撑台面上升，从而使得载物托盘带动碳素件上升到工作时的位置；打开真空系统阀门，通过真空泵将罩壳内的气压抽真空,开始加热，控制石墨电阻发热体发热体开始升温，恒温结束后进气管及石墨隔挡板下降到发热体二分之一位置处；此时由进气管供给碳氢气体原料，当热解石墨气象沉积10‑30分钟之后，控制电机开始工作，电机带动载物托盘以十分钟每转的速度；当气相沉积过程结束后，进气管及石墨隔挡板上升回到初始位置后，开始通过水冷排管降温。 |
