一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉
基本信息
| 申请号 | CN201710893617.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107815731B | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN107815731B | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | C30B28/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈鸽;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人 | 上海岚玥新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 新余市渝星知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张莹莹 |
| 地址 | 201400 上海市奉贤区奉浦大道1599号M幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉，包括装配于铸锭炉内用于向炉内输送载气的引流装置，还包括用于加热载气的加热装置，所述加热装置的输出端和引流装置的输入端相连通，输入端和载气的输气管连通。冷载气先经加热装置加热后形成温度较高的热载气，该热载气经引流装置吹射坩埚内的硅料；减少吹射区域液态硅的过冷度，降低甚至消除了液态硅中由载气所促进的杂质形核以及杂质核生长。 |
