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一种晶片自动喷洒设备

基本信息

申请号 CN202122339732.1 申请日 -
公开（公告）号 CN216413017U 公开（公告）日 2022-04-29
申请公布号 CN216413017U 申请公布日 2022-04-29
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 郑贤良;刘增伟;曾柏翔;李瑞评;郑琳 申请（专利权）人 福建晶安光电有限公司
代理机构 北京金咨知识产权代理有限公司 代理人 尤樟华
地址 362411福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种晶片自动喷洒设备，所述晶片自动喷洒设备包括机架和安装在所述机架上的上料装置、烘烤装置、喷洒装置、下料装置和传送装置；所述上料装置、烘烤装置、喷洒装置、下料装置均顺序布置在所述传送装置的上方，所述上料装置用于将晶片装载到传送装置上，所述烘烤装置用于烘烤晶片，所述喷洒装置用于将溶液喷洒到晶片上，所述下料装置用于将晶片从传送装置上取下，所述传送装置用于将晶片传送至各工艺段的装置。该设备依照人工喷洒流程及制程要求，可依序自动完成上料、传送、烘烤、喷洒、收料等流程，在提高喷洒量准确度及喷洒均匀性的同时，提高生产效率。