一种含Notch晶圆运用于精雕机的定位载台
基本信息
| 申请号 | CN202122083773.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216413035U | 公开（公告）日 | 2022-04-29 |
| 申请公布号 | CN216413035U | 申请公布日 | 2022-04-29 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄建烽;周志豪;王燕红;林宏超;莫康;刘建飞 | 申请（专利权）人 | 福建晶安光电有限公司 |
| 代理机构 | 北京金咨知识产权代理有限公司 | 代理人 | 尤樟华 |
| 地址 | 362411福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种含Notch晶圆运用于精雕机的定位载台，所述定位载台包括真空吸附载盘和位于所述真空吸附载盘之上的晶圆载台；其中，所述晶圆载台上具有向下凹陷的晶圆放置区，所述晶圆放置区具有多个真空气孔，以用于真空吸附固定晶圆。本实用新型提供了一种简易式的整合Notch晶圆提高定位精度的载台，其结构简单，可有效地解决Notch晶圆的缺口倒角问题，提升Notch口研削后的精度，进而减小因外观不良的损失。 |
