一种蓝宝石晶体生长工艺
基本信息
申请号 | CN202111030051.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113699585B | 公开(公告)日 | 2022-04-29 |
申请公布号 | CN113699585B | 申请公布日 | 2022-04-29 |
分类号 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 余剑云;吴锋波;郑家金;王进学 | 申请(专利权)人 | 福建晶安光电有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 362411福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种蓝宝石晶体生长工艺,通过在加热阶段功率约20~30kw时进行恒温,排除晶体生长炉内的水汽,减少炉内氧气含量,减少炉内热场氧化,降低杂质的生成,降低浮岛形成概率;通过在加热阶段恒温后通入惰性气体至1.0个大气压以上,更能将通过恒温后未能排除干净的水汽及氧气排除干净;通过在原料融化后降温处理使原料表面重新凝结产生结晶后,再通过升温处理重新融化原料,使浮岛沉入晶体生长炉的底部,提高引晶及晶体质量。本发明所提供的蓝宝石晶体生长工艺适用范围较广,适用于任何尺寸任何方法的蓝宝石晶体的生长,特别是大尺寸的蓝宝石晶体生长。 |
