一种单层大面积石墨烯的制备方法
基本信息
申请号 | CN201811425759.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111217360A | 公开(公告)日 | 2020-06-02 |
申请公布号 | CN111217360A | 申请公布日 | 2020-06-02 |
分类号 | C01B32/186(2017.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 王中健;肖兵;梁欢;黄肖艳 | 申请(专利权)人 | 季优科技(珠海横琴)有限公司 |
代理机构 | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 季优科技(上海)有限公司 |
地址 | 201822上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢J246室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种单层大面积石墨烯的制备方法,其利用h‑BN和石墨烯间的低晶格失配度,通过PECVD降低实验温度并提升反应速率,直接在介电基底上淀积出了高质量的单层石墨烯,实现大尺寸单层石墨烯的制备。该方法可以克服现有制备过程中的层数不均匀、反应速率慢、需要温度高等问题,为石墨烯的大规模应用打下良好的基础。 |
