一种单层大面积石墨烯的制备方法

基本信息

申请号 CN201811425759.9 申请日 -
公开(公告)号 CN111217360A 公开(公告)日 2020-06-02
申请公布号 CN111217360A 申请公布日 2020-06-02
分类号 C01B32/186(2017.01)I 分类 无机化学;
发明人 王中健;肖兵;梁欢;黄肖艳 申请(专利权)人 季优科技(珠海横琴)有限公司
代理机构 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 季优科技(上海)有限公司
地址 201822上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢J246室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种单层大面积石墨烯的制备方法,其利用h‑BN和石墨烯间的低晶格失配度,通过PECVD降低实验温度并提升反应速率,直接在介电基底上淀积出了高质量的单层石墨烯,实现大尺寸单层石墨烯的制备。该方法可以克服现有制备过程中的层数不均匀、反应速率慢、需要温度高等问题,为石墨烯的大规模应用打下良好的基础。