一种可控层数的大面积黑磷薄膜的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201811424965.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111223757A | 公开（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申请公布号 | CN111223757A | 申请公布日 | 2020-06-02 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王中健;肖兵;梁欢;黄肖艳 | 申请（专利权）人 | 季优科技（珠海横琴）有限公司 |
| 代理机构 | 上海宏京知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 季优科技（上海）有限公司 |
| 地址 | 201822上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢J246室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种可控层数的大面积黑磷薄膜的制备方法，首先，在衬底上淀积白磷薄膜，白磷薄膜是通过将Ca3(PO4)2、SiO2、C通过化学反应生成白磷蒸汽，并通过控制反应速率得到薄层白磷；然后，将衬底上的白磷薄膜在1200MPa的压力、473K的温度下转化为黑磷薄膜。转化后黑磷薄膜的层数是通过控制白磷薄膜的厚度而控制的，制备形成的黑磷薄膜的层数范围为单层至三层，制得的黑磷薄膜的薄膜面积尺寸达到厘米级。通过采用本发明的方法可以制得可控层数的大面积(尺寸可达到厘米级)黑磷薄膜，突破了目前黑磷薄膜无法大面积制得的局面，有望在大规模集成电路中获得应用。 |
