一种湿敏晶体管传感器及其检测方法
基本信息
| 申请号 | CN201810646241.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110632154A | 公开（公告）日 | 2019-12-31 |
| 申请公布号 | CN110632154A | 申请公布日 | 2019-12-31 |
| 分类号 | G01N27/414（2006.01） | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王中健; 肖兵; 梁欢; 黄肖艳 | 申请（专利权）人 | 季优科技（珠海横琴）有限公司 |
| 代理机构 | 上海宏京知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 季优科技（上海）有限公司 |
| 地址 | 201899 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢J246室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种湿敏晶体管传感器及其检测方法，其中，晶体管传感器包括高掺硅层和二氧化硅层，所述二氧化硅层设于所述高掺硅层的上部，所述二氧化硅层的上端设有二硫化钼层，所述二氧化硅层上设有源极和漏极，所述源极与漏极分别位于所述二硫化钼层的两相对侧，所述高掺硅层上设有栅极。本发明的晶体管传感器在尺寸上得到了高度的压缩，利用MoS2独特的电子性质，起到很好的气体吸附的性能，对环境中的水气具有灵敏度高、稳定性好、与传统的微纳加工工艺兼容等优点。 |
