首页/ 绵阳市伯夏科技有限公司/ 专利详情

灯珠加工用旋转盘式反应室

基本信息

申请号 CN201811251763.8 申请日 -
公开（公告）号 CN109208071A 公开（公告）日 2019-01-15
申请公布号 CN109208071A 申请公布日 2019-01-15
分类号 C30B25/14;C30B25/08 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 文波 申请（专利权）人 绵阳市伯夏科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 621000 四川省绵阳市经开区三江大道39号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种灯珠加工用旋转盘式反应室，包括反应室主体，所述反应室主体外上端中部固定设置有进气管，所述进气管中央固定设置有隔流板，所述隔流板延伸至反应室主体内并且所述隔流板底端固定连接有气流板，所述反应室内壁上固定设置有延伸板，所述水平板与延伸板之间形成水平通道，所述水平通道一端在反应室主体内上部中央固定设置有集气槽，所述集气槽下端设有开口。本发明通过设置球形反应室主体与合适的气流通道，并在气流通道上设置电磁阀，使反应气可以在电磁阀的调节下与衬底基片均匀接触，使反应生成的外延片质地优良，具有更好的生产效果。