提高氮化硼喷嘴寿命的方法

基本信息

申请号 CN201410833443.9 申请日 -
公开(公告)号 CN104451533A 公开(公告)日 2015-03-25
申请公布号 CN104451533A 申请公布日 2015-03-25
分类号 C23C8/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 李倍;过凤萍 申请(专利权)人 江苏锴博材料科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215500 江苏省苏州市常熟市东南开发区新安江路62号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种提高氮化硼喷嘴寿命的方法,通过在BN喷嘴内部沉积Al涂层,然后在氮气气氛中高温处理,最终在喷嘴内部形成一层致密,具有一定厚度的AlN涂层。在氮气条件下,涂层成分以AlN为主,因此可以在喷嘴内部形成一层致密,具有一定厚度的AlN涂层。AlN莫氏硬度7,熔点2200℃以上,热膨胀系数3.5-4×10-6/℃可稳定使用在1370℃,耐冲蚀性能远高于BN。同时其表面形成的氧化铝可以保护氮化硼喷嘴免于氧化,两种因素同时保证喷嘴寿命大幅提高。