提高氮化硼喷嘴寿命的方法
基本信息
申请号 | CN201410833443.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN104451533A | 公开(公告)日 | 2015-03-25 |
申请公布号 | CN104451533A | 申请公布日 | 2015-03-25 |
分类号 | C23C8/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 李倍;过凤萍 | 申请(专利权)人 | 江苏锴博材料科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 215500 江苏省苏州市常熟市东南开发区新安江路62号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种提高氮化硼喷嘴寿命的方法,通过在BN喷嘴内部沉积Al涂层,然后在氮气气氛中高温处理,最终在喷嘴内部形成一层致密,具有一定厚度的AlN涂层。在氮气条件下,涂层成分以AlN为主,因此可以在喷嘴内部形成一层致密,具有一定厚度的AlN涂层。AlN莫氏硬度7,熔点2200℃以上,热膨胀系数3.5-4×10-6/℃可稳定使用在1370℃,耐冲蚀性能远高于BN。同时其表面形成的氧化铝可以保护氮化硼喷嘴免于氧化,两种因素同时保证喷嘴寿命大幅提高。 |
