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PERC太阳能电池硅片背面的清洗方法

基本信息

申请号 CN201710122731.7 申请日 -
公开（公告）号 CN106972079B 公开（公告）日 2018-05-18
申请公布号 CN106972079B 申请公布日 2018-05-18
分类号 H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 方结彬;何达能;陈刚 申请（专利权）人 浙商银行股份有限公司义乌分行
代理机构 广州知友专利商标代理有限公司 代理人 浙江爱旭太阳能科技有限公司
地址 322000 浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路126号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了PERC太阳能电池硅片背面的清洗方法，该清洗发生在PERC太阳能电池制备过程中电池硅片沉积正面氮化硅膜之后、沉积背面氧化铝膜之前，包括依次进行的如下步骤：(1)将硅片放入KOH和H2O2的混合溶液中；(2)将硅片放入去离子水中进行漂洗；(3)将硅片放入KOH溶液中；(4)将硅片放入KOH和H2O2的混合溶液中；(5)将硅片放入去离子水中进行漂洗；(6)将硅片放入HF溶液或者HCL溶液或者HF和HCL的混合溶液中；(7)将硅片放入去离子水中进行漂洗，漂洗完成后将硅片提出水面；(8)对硅片进行烘干。该清洗方法能够提升电池的光电转换效率。