一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备
基本信息
| 申请号 | CN202120303536.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214570730U | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN214570730U | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | B81C1/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 刘伟;李光旻;王文安 | 申请（专利权）人 | 中企众鑫（天津）工业设计有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 300000天津市西青区中北镇中北科技产业园二区1号A区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备，包括密封舱，密封舱内依次设有第一烧杯、第二烧杯、第三烧杯和第四烧杯，密封舱内设有运行控制系统、环境控制系统和视频监控系统。密封舱外设有中央控制系统和数据采集系统，运行控制系统、环境控制系统、视频监控系统和数据采集系统均与中央控制系统相连接。本实用新型通过中央控制系统设置导电玻璃衬底在各个溶液中的沉积时间和沉积循环周期，可以调节纳米薄膜的成分和厚度，有效提高制备纳米薄膜的实验效率；同时通过环境监测系统可以实时监测和控制密封舱内的温度和湿度，以达到良好的反应环境，提高纳米薄膜沉积的精准度，具有极大的实用经济价值。 |
