谐振器、滤波器及制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202111365022.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114070258A | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN114070258A | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | H03H9/25（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I;H03H3/08（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 王矿伟;赖志国;杨清华 | 申请（专利权）人 | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京希夷微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴黎 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城东北区NE-39幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例提供了一种谐振器、滤波器及制造方法，其中所述谐振器的制造方法包括：形成底电极；在所述底电极上形成压电层；在所述压电层上形成至少一个凹陷部，所述凹陷部的深度与待形成的质量负载层的厚度相同；在所述压电层上形成上电极，所述上电极填充入所述凹陷部的部分形成所述质量负载层，并使所述上电极的上表面平坦化。 |
