一种体声波谐振器以及电子器件
基本信息
申请号 | CN202122369478.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215934829U | 公开(公告)日 | 2022-03-01 |
申请公布号 | CN215934829U | 申请公布日 | 2022-03-01 |
分类号 | H03H9/17(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
发明人 | 刘海瑞;赖志国;杨清华 | 申请(专利权)人 | 苏州汉天下电子有限公司 |
代理机构 | 北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 李非非 |
地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区39幢 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种体声波谐振器,包括:基底;叠层结构,该叠层结构位于基底上,从下至上依次包括下电极、压电层以及上电极,压电层包括中间区域以及周边区域,中间区域的材料是第一压电材料,周边区域的材料是非压电的介电材料或压电系数小于第一压电材料的第二压电材料;声反射结构,该声反射结构位于叠层结构下方,形成在基底中或形成在叠层结构和基底之间;上电极、压电层以及下电极三者位于声反射结构上方的重叠区域构成叠层结构的有效区,其中,有效区在水平方向上的第一投影与压电层中间区域在水平方向上的第二投影重合或落入该第二投影内。本实用新型还提供了一种电子器件。实施本实用新型可以有效降低器件的横波损耗。 |
