无外部硬力引入去除散热盖方法
基本信息
| 申请号 | CN202110480200.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113252427A | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN113252427A | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | G01N1/32;G01N1/28 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王绍海 | 申请（专利权）人 | 苏试宜特（深圳）检测技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海唯源专利代理有限公司 | 代理人 | 季辰玲 |
| 地址 | 518101 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区68区隆昌路10号美生创谷春谷102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种无外部硬力引入去除散热盖方法，包括步骤：提供样品，该样品包括基板、固定于该基板上的晶粒以及通过散热胶盖设于该晶粒上的金属散热盖；对该样品进行透射内部观察，找到该晶粒的位置，并根据该晶粒的位置在该金属散热盖上标记出待蚀刻区域；于该金属散热盖表面粘贴铝箔胶带，并使该铝箔胶带完全覆盖该待蚀刻区域，于该铝箔胶带上对应于该待蚀刻区域的位置处进行切割并形成开口；向该开口内滴入加热的硝酸，直至腐蚀掉该待蚀刻区域内的金属散热盖；将样品放入丙酮内浸泡，当该散热胶软化后，去除剩余金属散热盖和该散热胶。本发明方法可避免去除散热盖时因外部应力的引入而对晶粒造成的损坏，能够保持晶粒的原有状态。 |
