挂载装置和磁控溅射镀膜系统
基本信息
| 申请号 | CN201920631449.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210001922U | 公开（公告）日 | 2020-01-31 |
| 申请公布号 | CN210001922U | 申请公布日 | 2020-01-31 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈富松; 方政 | 申请（专利权）人 | 东旭（昆山）显示材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 东旭（昆山）显示材料有限公司; 东旭光电科技股份有限公司 |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山经济技术开发区蓬溪北路500号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及挂载装置领域，公开了一种挂载装置和磁控溅射镀膜系统，所述挂载装置包括上导轨(1)、下导轨(2)以及安装在所述上导轨(1)和所述下导轨(2)之间的安装架(3)，其中，所述安装架(3)的上端通过上磁悬浮结构安装于所述上导轨(1)，所述安装架(3)的下端通过下磁悬浮结构安装于所述下导轨(2)。上述挂载装置利用磁悬浮原理使安装架不与上导轨和下导轨接触，使得安装架在移动过程中始终悬浮在导轨上，移动过程平稳，避免安装架振动，从而避免安装架中所挂载的工件(例如，玻璃基板等)移动、形变或者破裂，提高成品的质量。 |
