一种曝光机基板载台及曝光机
基本信息
| 申请号 | CN201920667064.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209606774U | 公开（公告）日 | 2019-11-08 |
| 申请公布号 | CN209606774U | 申请公布日 | 2019-11-08 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I; G02F1/13（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 汪杰 | 申请（专利权）人 | 东旭（昆山）显示材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 东旭（昆山）显示材料有限公司; 东旭光电科技股份有限公司 |
| 地址 | 215333 江苏省昆山市经济技术开发区蓬溪北路500号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种曝光机基板载台及曝光机，包括具有用于承托基板的上表面的载台本体；多个且设置在载台本体的上表面的支撑柱；铺设在载台本体的上表面的气垫，气垫上设置有供支撑柱穿过的柱孔；气垫充气后的上表面与支撑柱的上端位于同一水平面。本实用新型在进行曝光作业时，使气垫处于充气状态，此时，气垫的上表面与支撑柱的上端面形成一个支撑基板的平面，基板置于该平面上进行曝光时，由于气垫和支撑柱紧贴基板的下表面，基板下方无空隙，曝光过程中，支撑柱与其他位置的温度和能量差异几乎消失，从而有效避免由于温度差异而产生的stage mura问题，有效增加产品良率，特别时厚度较薄的玻璃基板，改善效果最佳。 |
