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一种外延用真空吸笔

基本信息

申请号 CN201310457396.8 申请日 -
公开（公告）号 CN103500726A 公开（公告）日 2014-01-08
申请公布号 CN103500726A 申请公布日 2014-01-08
分类号 H01L21/683(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李超亚 申请（专利权）人 徐州锡贾工业园投资发展有限公司
代理机构 徐州支点知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 刘新合
地址 221000 江苏省徐州市贾汪区工业园区内
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种外延用真空吸笔，包括真空泵（1）和中空手柄（2），还包括叉状引导头（5）和压簧开关（4）。通过叉引导头（5），引导吸笔插入，吸取晶圆。降低真空吸笔无引导插入晶圆盒时划伤晶圆表面的可能。?