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一种LED外延片检测方法及装置

基本信息

申请号	CN201210347164.2	申请日	-
公开（公告）号	CN102841281B	公开（公告）日	2015-07-22
申请公布号	CN102841281B	申请公布日	2015-07-22
分类号	G01R31/00(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	梁秉文;张涛	申请（专利权）人	苏州纳方科技发展有限公司
代理机构	北京华夏博通专利事务所（普通合伙）	代理人	苏州纳方科技发展有限公司
地址	215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种LED外延片的检测方法及装置。该方法包括：在LED外延片的上、下端面之间施加一交流方波电压，并且所述交流方波电压的大小足以驱动LED外延片发光。该装置包括：用于承载LED外延片的导电基底，且所述导电基底与LED外延片下端面接触；导电探针，其与LED外延片的上端面接触，以及，用于在所述导电基底与导电探针之间施加一交流方波电压的交流方波电压源，所述交流方波电压的大小足以驱动LED外延片发光。本发明较之现有的探针式电致发光（EL）测试方法，只需单一探针，无需实施点In等操作，不仅操作简单，高效快捷，成本低廉，不会污染或损伤LED外延片，而且测试结果稳定准确，能够实现对各种类型LED外延片的在线EL测试，通用性强。