一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置
基本信息
| 申请号 | CN202122456479.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214642425U | 公开（公告）日 | 2021-11-09 |
| 申请公布号 | CN214642425U | 申请公布日 | 2021-11-09 |
| 分类号 | B24B9/08（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B27/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王卫良;李士昌;刘超平;林保璋;曹飞 | 申请（专利权）人 | 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 315100浙江省宁波市云龙镇石桥村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置，包括工作台、倒角轮以及电机，所述倒角轮转动安装在所述工作台上，所述电机设置于所述工作台内且输出轴与所述倒角轮同轴连接，所述工作台上设置有吸风组件，所述吸风组件包括吸风通道以及吸风机，所述工作台表面开设有多个吸风孔，所述吸风通道设置于所述工作台上且连接所述吸风机和所述吸风孔。本申请能够减小倒角废屑对人手的影响。 |
