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一种半导体石英部件旋转平台

基本信息

申请号 CN202122215473.1 申请日 -
公开（公告）号 CN214488224U 公开（公告）日 2021-10-26
申请公布号 CN214488224U 申请公布日 2021-10-26
分类号 B08B13/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 王卫良;李士昌;刘超平;林保璋;姜永峰 申请（专利权）人 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 315100浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体生产设备，公开了一种半导体石英部件旋转平台，包括基台、转动安装于基台上的摆放台，所述摆放台上开设有若干围绕摆放台中心分布的滑移槽，各所述滑移槽的长度方向的延长线交汇于摆放台中心，所述滑移槽内安装有定位块，且所述基台上设置有用于驱使摆放台旋转的旋转机构；本实用新型旋转式的摆放台能够改变了工人围绕石英部件走动的清洗模式，使得工人在清洗时不容易牵拉供水管对石英部件产生碰撞，从而降低石英部件发生倾翻可能性的目的，并且可调节式的定位块能够根据石英部件高度的不同调整自身对石英部件的支撑位置，减少定位块支撑部位与石英部件重心之间的高度差，从而对石英部件形成更好的支撑。