一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床
基本信息
| 申请号 | CN202111065615.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113500502B | 公开（公告）日 | 2021-11-30 |
| 申请公布号 | CN113500502B | 申请公布日 | 2021-11-30 |
| 分类号 | B24B19/22（2006.01）I;B24B41/04（2006.01）I;B24B45/00（2006.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王卫良;李士昌;刘超平;林保璋;蒋建新 | 申请（专利权）人 | 盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 315100浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床，涉及半导体外延石英部件生产的技术领域，包括连接套、通过连接装置可拆卸设置在连接套上的精磨轮和粗磨轮。本申请通过解锁连接装置，然后根据加工要求更换精磨轮和粗磨轮进行更换，提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮和粗磨轮更换完成，以此来提高了砂轮对产品进行加工时的加工效率。 |
