管式炉及其控制方法
基本信息
| 申请号 | CN202010848157.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112050621A | 公开（公告）日 | 2020-12-08 |
| 申请公布号 | CN112050621A | 申请公布日 | 2020-12-08 |
| 分类号 | F27B5/04(2006.01)I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 潘登;谢子奇;张云宝;邓佳 | 申请（专利权）人 | 深圳前海石墨烯产业有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 深圳前海石墨烯产业有限公司 |
| 地址 | 518000广东省深圳市前海深港合作区南山街道前湾一路63号万科前海企业公馆4栋301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种管式炉及其控制方法，本发明设置与控制机构电性连接的真空泵、气压检测器以及第一气体流量控制器，控制机构控制真空泵对管式炉的炉管抽真空至第一气压设定值，为后续通入第一气体进行管内清洗完成准备工作，控制机构控制第一气体流量控制器开启使炉管内的气压达到第二气压设定值，以通入第一气体以对炉管进行管内清洗，该过程可多次循环进行，提高清洗效果，最后再抽真空达到后续通入反应气体的试验条件。通过控制机构控制真空泵、气压检测器、第一气体流量控制器动作，仅需设定参数，设备能够自动化完成管内清洗等反应前预备工作，有效节省人力，提高效率。 |
