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光学元件多点透射反射率光谱测量装置

基本信息

申请号 CN202120001473.9 申请日 -
公开（公告）号 CN214374295U 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN214374295U 申请公布日 2021-10-08
分类号 G01N21/59（2006.01）I;G01N21/55（2014.01）I;G01M11/02（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 宋光均;罗海涛;蒋之辉 申请（专利权）人 广州标旗光电科技发展股份有限公司
代理机构 广州正明知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 成姗
地址 510000广东省广州市黄埔区彩频路7号701-1房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于光学检测设备技术领域，公开了光学元件多点透射反射率光谱测量装置，该装置中，光源摆臂与检测摆臂可以分别进行0‑360度旋转（也可以同步进行），通过调整光源摆臂的旋转角度来调整光线与样品表面的入射角，从而可以进行多角度（0‑40度）的检测。通过调整检测摆臂的旋转角度来调整采集模块接收的光线是透过光线还是反射光线，从而切换不同的检测功能；样品台可以在Z轴方向移动，同时利用水平激光示高模组与样品台Z轴位移模块共同调整样品的上表面高度，实现了样品高度精确的自动定位，整套装置配套计算控制模块，实现了全自动检测。