一种三维表面非接触干涉测量仪
基本信息
| 申请号 | CN201820021522.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207923075U | 公开（公告）日 | 2018-09-28 |
| 申请公布号 | CN207923075U | 申请公布日 | 2018-09-28 |
| 分类号 | G01B11/24 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周峰;谭晓军;邝文辉;杜勇刚;邓崇凯 | 申请（专利权）人 | 广东普密斯视觉技术有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 广东普密斯视觉技术有限公司 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区南山路1号中集智谷15号楼01户1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及光学制造技术领域，尤其是指一种三维表面非接触干涉测量仪，包括激光器、空间滤波器、准直镜、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、成像镜头、CCD相机、第三反射镜和待测物放置台，所述激光器、空间滤波器、准直镜和第一反射镜同设于水平光轴线L1；所述第一反射镜、分光镜和待测物放置台同设于垂直光轴线L2；所述第二反射镜、分光镜和第三反射镜同设于水平光轴线L3；所述第二反射镜、成像镜头和CCD相机同设于垂直光轴线L4。本实用新型组件少，体积小，操作方便。 |
