一种表面检测装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201911251911.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110907468B | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN110907468B | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘亮;韩晓荣 | 申请（专利权）人 | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 201703上海市青浦区赵巷镇沪青平公路3398号1幢2层Q区202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种表面检测装置及方法，该表面检测装置包括：发射模块、扫描模块、散射光探测模块和定位模块；发射模块用于发射检测光束；扫描模块用于控制检测光束沿第一方向移动，以使入射至被测物体表面的检测光束沿第一方向形成一个单元扫描路径；散射光探测模块用于接收检测光束经由被测物体表面散射的散射光束；定位模块设置在检测光束在被测物体表面产生的反射光束的传播路径上，用于接收任一单元扫描路径内检测光束经由被测物体表面相应单元扫描路径中参考点的反射光束；其中，参考点为在任一单元扫描路径中设定的一个固定位置。本发明实施例提供的表面检测装置实现散射探测信号和扫描位置的同步，提高了检测精确度。 |
