一种自动对焦装置和方法、检测装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN202110220302.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113038003A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113038003A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | H04N5/232;H01L21/66 | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 李仲禹;章富平;陈旻峰;江旭初;袁嘉欣;陈椿元 | 申请（专利权）人 | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 201703 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种自动对焦装置和方法、检测装置和方法，其中，自动对焦装置通过控制第一电机、第二电机和第三电机，以控制工件台的移动，并根据待测物的位置信息调整工件台的位置，使得待测物处于测焦模块的焦面处，检测装置根据第一导轨在第二导轨上移动的长度，或工件台在第一导轨上移动的长度，以及自动对焦装置的对焦情况，控制探测器采集待测物表面的光信号，以及通过重力补偿模块的设置，补偿抵消第三电机的部分或者全部重力，使得工件台在第三方向上运动时，无需再克服第三电机的重力做功，使得工件台运行到位速度更快，减少对焦时间。 |
