一种多气源气体注射装置
基本信息
| 申请号 | CN202110165840.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113035674A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113035674A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | H01J37/26;H01J37/28 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 缪晖华 | 申请（专利权）人 | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 武汉蓝宝石专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 刘璐 |
| 地址 | 201700 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体材料加工技术领域，特别涉及一种多气源气体注射装置，其中，外壳内沿多气源气体注射装置的轴向设置有多个气源安装工位，气源安装工位用于安装气源发生模块；外壳的一端与轴向驱动模块连接，外壳的另一端与气体注射模块连接；气体注射模块延伸至外壳另一端的内部与气源发生模块连接，轴向驱动模块延伸至外壳一端的内部与气源发生模块连接，用于驱动气源发生模块进行轴向运动。本发明提供的多气源气体注射装置，多个气源发生模块沿多气源气体注射装置的轴向安装，形成轴向分布，占用空间小，在将多气源气体注射装置安装在带电粒子束设备的腔体上时，有利于避免气源发生模块和其他部件干涉。 |
