一种双侧斐索干涉仪检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202110383929.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113203357A | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN113203357A | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | G01B9/02（2006.01）I;G01B11/24（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 魏相宇;唐锋;卢云君;郭福东;王向朝;陈梦来 | 申请（专利权）人 | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张宁展 |
| 地址 | 201800上海市嘉定区清河路390号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种双侧斐索干涉仪检测装置，包括光源模块，第一干涉仪主机，第二干涉仪主机，第一标准镜，第二标准镜，被测非透明平面；所述的第一干涉仪主机、第二干涉仪主机均为斐索干涉仪。本发明将点光源位于准直镜的焦面但不在焦点上，从而使经准直镜透射的出射光与干涉仪光轴具有夹角，通过与光阑配合，使对侧干涉仪的出射光进入到本侧干涉仪后，汇聚在光阑的遮光区，不影响本侧干涉仪干涉图的接收；或者使用光开关，使第一干涉仪主机、第二干涉仪主机单独工作。本发明有效的提高了干涉图的质量，具有装置结构简单，操作方便，测量精度高的优点。 |
