一种用于旋涂机的主轴

基本信息

申请号 CN201821028748.2 申请日 -
公开(公告)号 CN208592025U 公开(公告)日 2019-03-12
申请公布号 CN208592025U 申请公布日 2019-03-12
分类号 B05C11/08(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 肖春龙; 苗福喜; 缑玉栋; 陈胜章; 芦志方; 郭建军; 陈瑞敏 申请(专利权)人 安阳华安通用主轴科技有限公司
代理机构 安阳市智浩专利代理事务所(普通合伙) 代理人 安阳华安通用主轴科技有限公司
地址 455000 河南省安阳市北关区创业大道中段路北
法律状态 -

摘要

摘要 一种用于旋涂机的主轴,属于旋涂机主轴领域,所述转子轴内设置有通孔,主轴内设置有水冷套,转子和定子两端分别设置有两个和两个以上轴承,主轴上部设置有防水盖,主轴末端设置有编码器,所述主轴的转速在0.2‑1000转/分,所述主轴的外圆跳动≤0.003mm、端面跳动≤0.003mm,通过利用本实用新型能够提高大型基板的涂胶均匀度,可减少胶液的浪费,提高胶液旋涂的稳定性。