基于外延层的X射线检测器及其制备方法
基本信息
申请号 | CN201980087441.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113302485A | 公开(公告)日 | 2021-08-24 |
申请公布号 | CN113302485A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
分类号 | G01N23/223(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 曹培炎;刘雨润 | 申请(专利权)人 | 深圳帧观德芯科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 518071广东省深圳市南山区桃源街道塘朗社区信宜五路13号塘朗工业B区集悦城众创产业园52栋201 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本文公开一种方法,其包括:在支撑在衬底(411)上的外延层(412)的第一表面(412A)上形成电触点(119B),所述第一表面(412A)与所述衬底(411)相对;将所述外延层(412)键合至电子器件层(120),其中所述第一表面(412A)面向所述电子器件层(120),并且所述第一表面(412A)上的所述电触点(119B)被键合至所述电子器件层(120)的所述电触点(120X);通过移动所述衬底(411)而暴露与所述第一表面(412A)相对的第二表面(412B);并且在所述第二表面(412B)上形成公共电极(119A)。 |
