基于外延层的X射线检测器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201980087441.0 申请日 -
公开(公告)号 CN113302485A 公开(公告)日 2021-08-24
申请公布号 CN113302485A 申请公布日 2021-08-24
分类号 G01N23/223(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 曹培炎;刘雨润 申请(专利权)人 深圳帧观德芯科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518071广东省深圳市南山区桃源街道塘朗社区信宜五路13号塘朗工业B区集悦城众创产业园52栋201
法律状态 -

摘要

摘要 本文公开一种方法,其包括:在支撑在衬底(411)上的外延层(412)的第一表面(412A)上形成电触点(119B),所述第一表面(412A)与所述衬底(411)相对;将所述外延层(412)键合至电子器件层(120),其中所述第一表面(412A)面向所述电子器件层(120),并且所述第一表面(412A)上的所述电触点(119B)被键合至所述电子器件层(120)的所述电触点(120X);通过移动所述衬底(411)而暴露与所述第一表面(412A)相对的第二表面(412B);并且在所述第二表面(412B)上形成公共电极(119A)。