一种半导体器件瞬态热测试的数据分析方法

基本信息

申请号 CN202110759313.5 申请日 -
公开(公告)号 CN113254868A 公开(公告)日 2021-08-13
申请公布号 CN113254868A 申请公布日 2021-08-13
分类号 G06F17/15;G06F30/20;G01N25/20 分类 计算;推算;计数;
发明人 罗亚非 申请(专利权)人 鲁欧智造(山东)高端装备科技有限公司
代理机构 山东华君知识产权代理有限公司 代理人 程静静
地址 261000 山东省潍坊市潍城区经济开发区工业一街东首195号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种半导体器件瞬态热测试的数据分析方法,包括以下步骤:步骤一、采用热阻热容模型来建立一级RthCth模型;步骤二、使用多级RthCth模型来进行半导体产品的瞬态热响应计算;步骤三、采用RthCth模型对数据进行卷积运算处理。具有以下优点:解决了无法对应到被测器件的物理结构上、无法直接提供用于数值分析的数据、无法提供用于瞬态仿真的数学模型的问题。