一种多量程集成的复合膜片式MEMS压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN202110560327.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113401861A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113401861A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | B81B7/02（2006.01）I;G01L1/18（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 胡宗达;彭鹏;李奇思;刘璐;苏晓晓 | 申请（专利权）人 | 成都凯天电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 成都君合集专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 尹新路 |
| 地址 | 610091四川省成都市青羊区黄田坝西货站路515号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了一种多量程集成的复合膜片式MEMS压力传感器，通过在一个传感器中集成化多个不同量程的模块，实现了对不同量程、不同尺寸的物件的适应性测量，同时提高了测量的一致性。 |
