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一种体声波谐振器及其制作方法

基本信息

申请号 CN202110831867.1 申请日 -
公开（公告）号 CN113328724A 公开（公告）日 2021-08-31
申请公布号 CN113328724A 申请公布日 2021-08-31
分类号 H03H9/17（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H03H3/04（2006.01）I 分类 基本电子电路;
发明人 张智鹏;杨清华;唐兆云;赖志国 申请（专利权）人 绍兴汉天下微电子有限公司
代理机构 北京允天律师事务所 代理人 李建航
地址 312035浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号3幢3楼309-312B室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例提供了一种体声波谐振器及其制作方法，该方法包括：提供衬底，在衬底的内部或者表面形成声反射结构；在衬底的一侧形成第一电极，第一电极至少部分覆盖声反射结构；在第一电极背离衬底的一侧形成压电层，压电层内部或表面具有温度补偿层和至少一层第一晶格诱导层，任一第一晶格诱导层与压电层的晶格失配度小于温度补偿层与压电层的晶格失配度；在压电层背离衬底的一侧形成第二电极。由于第一晶格诱导层与压电层的晶格失配度小于温度补偿层与压电层的晶格失配度，因此，与温度补偿层相比，第一晶格诱导层与压电层的晶格更匹配，从而可以改善压电层与温度补偿层之间的晶格失配。