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滤波器及其制备方法、双工器

基本信息

申请号 CN202110863077.1 申请日 -
公开（公告）号 CN113541638A 公开（公告）日 2021-10-22
申请公布号 CN113541638A 申请公布日 2021-10-22
分类号 H03H9/54（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I;H03H3/08（2006.01）I;H03H9/70（2006.01）I;H03H9/72（2006.01）I 分类 基本电子电路;
发明人 吴明;王家友;王矿伟;杨清华;唐兆云;赖志国;李合景 申请（专利权）人 绍兴汉天下微电子有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 蔡舒野
地址 312000浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号3幢3楼309-312B室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例公开了一种滤波器及其制备方法、双工器，各谐振器层在衬底的一侧沿衬底厚度方向堆叠设置，各谐振器层形成垂直结构而非平铺结构，使得滤波器所占用平面的面积减小，提高滤波器的集成度，进而有利于实现包括本实施例的滤波器的通信系统的小型化。并且，本发明实施例的滤波器仅包括一个晶圆，进而使得滤波器中所需晶圆数量减少，有利于节约成本；且相邻谐振器层直接接触，因此直接在一谐振器层的一侧进行相邻谐振器层的沉积即可，无需采用键合工艺，使得滤波器的制备工艺也较为简化。