一种单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202110124100.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113005508A | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN113005508A | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | C30B15/00;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 侯颖;李世杰;赵京通 | 申请（专利权）人 | 河北晶龙阳光设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐颖聪 |
| 地址 | 055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种单晶炉，包括：副室主体，所述副室主体内形成有副腔室；上观察窗，所述上观察窗设置在所述副室主体上端前方，所述上观察窗包括上观察窗门，所述上观察窗门的一侧通过第一合页转动连接在所述副室主体上；气动单晶托，所述气动单晶托设置在所述副室主体下端侧面用于承托硅棒；定位导向机构，所述定位导向机构设置在所述副室主体下端前侧，用于在所述单晶炉与旋阀进行连接时顶端。根据本发明实施例的单晶炉，将上观察窗采用合页形式，维护方便，避免了零件掉落风险，单晶托采用气动控制，提高设备自动化程度，通过设置定位定向机构，确保导向的平稳准确性，提升了副室的安全性与自动化程度。 |
