一种快速连续制备大尺寸石墨烯薄膜的装置及其应用
基本信息
| 申请号 | CN201210047668.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102534766B | 公开（公告）日 | 2016-03-09 |
| 申请公布号 | CN102534766B | 申请公布日 | 2016-03-09 |
| 分类号 | C30B25/00(2006.01)I;C30B29/02(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李超;王振中 | 申请（专利权）人 | 无锡第六元素高科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司;无锡第六元素电子薄膜科技有限公司 |
| 地址 | 214154 江苏省无锡市惠山区惠山经济开发区智慧路1号清华创新大厦A2OO5室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种快速连续制备大尺寸石墨烯薄膜的装置，该装置包括热源、卷对卷和气瓶，所述卷对卷带动催化金属薄层移动，并穿过密闭石英箱；分装在气瓶中的保护气体、氢气和碳源通过管路进入密闭石英箱；密闭石英箱与真空泵连接，以保持气体的流动性和较低的气压；所述热源为激光器，激光器发射出的激光束透过密闭石英箱照射在催化金属薄层的表面对其进行逐行扫描加热。本发明解决了在传统管式炉中由于金属薄层整体受热造成高温下金属薄层受力变形甚至拉断的问题。将该装置应用于制备大尺寸石墨烯薄膜时，可实现大尺寸石墨烯薄膜均匀、快速、连续的生长，也可以对石墨烯薄膜生长区域进行更为精确的控制。 |
