一种基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法
基本信息
| 申请号 | CN201110154588.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102275907B | 公开（公告）日 | 2013-10-02 |
| 申请公布号 | CN102275907B | 申请公布日 | 2013-10-02 |
| 分类号 | C01B31/04(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 瞿研 | 申请（专利权）人 | 无锡第六元素高科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司;无锡第六元素电子薄膜科技有限公司 |
| 地址 | 214154 江苏省无锡市惠山区惠山经济开发区智慧路1号清华创新大厦A2005室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法，涉及一种石墨烯材料的制备方法。步骤是，将荷包状铜箔置于真空管式炉或者真空气氛炉中，在除去真空腔内氧气的情况下，将氢气注入真空腔中，并升温至800-1100摄氏度，再将碳源气体注入真空腔中，即得沉积石墨烯的荷包状铜箔。本发明基于化学气相沉积法，在封闭的荷包状金属衬底（例如铜箔）外表面上高温裂解甲烷或其他碳氢气体，所沉积的碳原子在高温下透析到金属衬底内表面，在内表面形成石墨烯薄膜。该方法石墨烯的形成速度较慢，所形成的石墨烯晶粒较大，从而提供一种制备超大晶粒石墨烯薄膜的方法。 |
