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热电堆红外探测器及其制造方法

基本信息

申请号 CN201710155378.2 申请日 -
公开（公告）号 CN107403863A 公开（公告）日 2017-11-28
申请公布号 CN107403863A 申请公布日 2017-11-28
分类号 H01L35/02(2006.01)I;H01L35/32(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘伟 申请（专利权）人 杭州立昂微电子股份有限公司
代理机构 杭州杭诚专利事务所有限公司 代理人 尉伟敏;阎忠华
地址 310018 浙江省杭州市市辖区下沙经济技术开发区20号大街199号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种热电堆红外探测器及其制造方法，包括单晶硅衬底，垂直于单晶硅衬底下表面并向上垂直延伸的若干个柱状的热电偶，所述热电偶包括由第一材料构成的实心柱和包围实心柱的由第二材料构成的空心柱，所述实心柱和空心柱之间和空心柱外侧均设有第三介质层；所述实心柱和空心柱的顶部通过伸出单晶硅衬底上表面的第一金属层电连接，各个第一金属层之间和各个第一金属层之上均设有第一介质层，第一介质层上设有红外线吸收膜，所述第一介质层下表面与衬底上表面之间形成空腔，单晶硅衬底下表面设有第二介质层。本发明具有易于制造，可靠性好的特点。