化学气相沉积增强水氧阻隔性能的可降解薄膜
基本信息
申请号 | CN201911337533.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111073016A | 公开(公告)日 | 2020-04-28 |
申请公布号 | CN111073016A | 申请公布日 | 2020-04-28 |
分类号 | C08J7/06;C08J7/04;C23C16/40;C08L67/04;C08L69/00;C08L67/02;C08L3/02;C08L23/00;C08L27/06;C08L33/00 | 分类 | 有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物; |
发明人 | 林群 | 申请(专利权)人 | 南京福仕保新材料有限公司 |
代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人 | 南京福仕保新材料有限公司 |
地址 | 211100 江苏省南京市江宁区苏源大道19号(江宁开发区) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种可降解并具有高水氧阻隔性能薄膜的化学气相沉积的制备工艺,可适用于各种超薄和柔性电子器件,医疗,生物等的高性能水氧阻隔薄膜的大面积制备的要求,尤其通过低压/常压化学气相沉积沉实现快速和大面积纳米薄膜层与可降解薄膜相结合的制备与整合,实现了提高可降解薄膜水氧阻隔的功能。 |
