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角速度测量结构

基本信息

申请号 CN202011335275.2 申请日 -
公开（公告）号 CN114543780A 公开（公告）日 2022-05-27
申请公布号 CN114543780A 申请公布日 2022-05-27
分类号 G01C19/5656（2012.01）I 分类 测量；测试;
发明人 褚伟航;张琳琳;朱京 申请（专利权）人 北京晨晶电子有限公司
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 100020北京市朝阳区酒仙桥路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例涉及检测设备技术领域，提供一种角速度测量结构，包括：基部，基部适于连接微机械陀螺仪的封装底座；耦合框，耦合框设置在基部外侧，并通过多个弹性梁与基部连接；一对连接梁，一对连接梁连接在耦合框两侧并由耦合框两侧方向直线型延伸；驱动臂，驱动臂分别在每个连接梁背离耦合框一端设置有一对，每对驱动臂在其所在的连接梁上沿垂直于连接梁的方向分别向两侧延伸；一对检测臂，一对检测臂沿平行于驱动臂的方向由耦合框的两侧延伸，检测臂位于驱动臂之间。本发明实施例的角速度测量结构具有良好的宽温性能，结构简单、容易装配，易于小型化，并且在进行检测时检测精度更高。