微机械石英音叉陀螺
基本信息
| 申请号 | CN202111417204.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113847909B | 公开（公告）日 | 2022-06-28 |
| 申请公布号 | CN113847909B | 申请公布日 | 2022-06-28 |
| 分类号 | G01C19/5621（2012.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 褚伟航;裴志强;张琳琳;陶硕;郄立伟;赵黎明;王天宇;廖兴才 | 申请（专利权）人 | 北京晨晶电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100020北京市朝阳区酒仙桥路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种微机械石英音叉陀螺，包括外框结构，呈H型且嵌置在外框结构中的音叉结构，以及围绕驱动叉指周向设置的驱动电极。音叉结构包括驱动叉指，驱动叉指具有一对相对的第一相对面和一对相对的第二相对面。驱动电极包括一对第一驱动电极和一对第二驱动电极。其中，一对第一驱动电极分别与一对第一相对面相对应，一对第二驱动电极分别与一对第二相对面相对应。第一驱动电极和第二驱动电极中的至少一者设置在外框结构的与驱动叉指相对的面上。如此设置，通过在外框结构上制备电极，来减少驱动叉指上的电极设置，以减小驱动叉指的负载，降低负载带来的性能损耗，提高微陀螺的精度以及可靠性。 |
