一种用于PECVD腔室的绝缘螺栓
基本信息
| 申请号 | CN202021929756.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213176386U | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN213176386U | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | F16B35/02;F16B33/00 | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 林锦山;谢志刚;王树林;廖培灿 | 申请（专利权）人 | 福建钧石能源有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 362000 福建省泉州市鲤城区南环路高新技术园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于PECVD腔室的绝缘螺栓，包括螺栓主体和绝缘螺帽，所述螺栓主体的头部端面中心钻设带有内螺纹的螺孔，所述绝缘螺帽一体成型带有外螺纹的锁紧螺杆，所述锁紧螺杆的外螺纹与螺孔的内螺纹相适配，所述绝缘螺帽通过锁紧螺杆与螺孔嵌入在螺栓主体上面。本实用新型不仅具有普通螺栓坚固，可支撑石英零件等特点，且在螺栓主体上设有绝缘螺帽，避免了PECVD启辉过程，裸露的螺栓成为局部的电极辉光点，分散了等离子镀膜区域，绝缘螺帽保护螺栓主体避免其在高温下熔融变形，又不会在真空腔室内参与气体反应，污染腔室，使得PECVD设备在高功率、高气压的条件下能稳定辉光镀膜，保证镀膜质量，具有较强的实用性。 |
