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一种异质结电池的电极制备及热处理方法

基本信息

申请号 CN201711129200.7 申请日 -
公开（公告）号 CN109786478A 公开（公告）日 2019-05-21
申请公布号 CN109786478A 申请公布日 2019-05-21
分类号 H01L31/0224（2006.01）I; H01L31/0747（2012.01）I; H01L31/18（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 张杰; 宋广华 申请（专利权）人 福建钧石能源有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鲤城区南环路江南高新科技园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种异质结电池的电极制备及热处理方法，其所述方法包括：在硅片上沉积非晶硅薄膜；在非晶硅薄膜上沉积透明导电膜层；在透明导电膜表面沉积金属种子层；在种子层表面覆盖保护膜；然后在保护膜上形成金属栅线的图形；在金属栅线图形上进行电镀，增加金属栅线的厚度；刻蚀掉多余的保护膜及种子层，形成金属电极；对金属电极进行热处理以释放内应力，所述热处理为在空气氛围中对金属电极进行退火处理，其处理温度160‑180℃，时间为60‑100秒。本发明通过解决电镀铜线的应力问题，提升了电极与其界面的结合力，提高了太阳能电池的性能。