一种PVD新型冷却遮板
基本信息
| 申请号 | CN202021499912.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213172544U | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN213172544U | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/52 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张延任;张建德;刘义军;徐尔强 | 申请（专利权）人 | 福建钧石能源有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 362000 福建省泉州市鲤城区南环路高新技术园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PVD新型冷卻遮板，包括上层遮板和下层冷却板，所述上层遮板和下层冷却板为双层分离式结构，所述上层遮板可拆卸设置在下层冷却板上，所述下层冷却板设有供导热媒介全面直接接触上层遮板的循环流道。本实用新型克服目前传统遮板无法达到的弹性温度控制，冷却遮板容易因高温变形无法实现于高温环境下，且可快速拆卸替换，可以突破现行真空溅镀对镀膜温度的限制，并得以有效的得到准确控制，并更容易快速得更换下来，满足现有设备在真空环境温度控制的问题，以因应未来真空镀膜设备面对未来市场多样产品需求。 |
