一种制备HIT太阳能电池导电栅线的撕膜方法
基本信息
| 申请号 | CN201610149484.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107204387B | 公开（公告）日 | 2019-07-05 |
| 申请公布号 | CN107204387B | 申请公布日 | 2019-07-05 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I; H01L31/0224（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 倪鹏玉; 王树林; 游文诚; 李德辉; 张明全 | 申请（专利权）人 | 福建钧石能源有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 362000 福建省泉州市鲤城区常泰街道仙塘社区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备HIT太阳能电池导电栅线的撕膜方法，包括如下步骤：在硅片的上表面和下表面贴上一层感光膜，感光膜上设有保护膜；感光膜上与硅片接触的部分为曝光区，在曝光区向外延伸设一段缓冲区，其余为非缓冲区；将与硅片尺寸相对应区域的感光膜的曝光区和非缓冲区进行曝光；裁切掉缓冲区范围之外的一段区域；撕掉感光膜表面上的保护膜。本发明曝光后的感光膜韧性变小，且曝光后的感光膜与保护膜之间的粘附力也变小，有利于撕膜，保护膜很容易撕开，缓冲区未曝光区域感光膜韧性比较好，不易被撕裂，使得曝光的感光膜的刀口裁切处更容易撕膜且不会因为裁切口的锯齿状产生裂缝而延伸至硅片表面，不会对曝光图形产生影响。 |
