一种PVD双面镀膜载板
基本信息
| 申请号 | CN202021487499.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213895984U | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN213895984U | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张建德;张延任;刘义军;徐尔强 | 申请（专利权）人 | 福建钧石能源有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 362000福建省泉州市鲤城区南环路高新技术园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型PVD双面镀膜载板，包括框架和子载板，所述子载板固定在框架上，所述框架上设有用来装螺母的螺纹孔，所述子载板具有四边支撑凸台，支撑边缘位置采用阶梯斜边式设计。本实用新型应用于高速连续物理气相沉积设备，可以保证产能优势，达到双面高速连续镀膜效果，传动运行高效稳定，且有效地降低了PVD生产过程中产生的电池片破片、掉片及崩边等不良率；可以解决双面镀膜边际效应，解决镀膜色差问题；可以解决双面镀膜边缘绕镀现象，提升暗电流良率，对电池片综合良率改善明显；可以解决保养易腐蚀问题，提高载板使用可靠性。 |
